中国出产真空泵的厂家很多，悉数真空泵的年销售额大约在1.5亿元摆布，仅相当于美国Kinney公司一家真空泵的年销售额。经过对全球真空泵商场的剖析咱们能够看出，各类真空泵的商场及使用范畴都在不断改变和开展。中国真空泵制造业有着悠长的前史和雄厚的根底，国产真泵现已在各个不一样范畴得到使用并经过验证，有些泵还出口国外，得到国外用户的认可并受到好评，应该说中国真空泵制造业在国内外商场依然有着巨大的开展空间。

1.液环泵

尽管液环泵归于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等范畴依然有着很大的商场。在国外，液环泵的销售额占悉数真空泵商场的14%，仅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中国投资建厂或树立销售网络，不断扩大在中国的商场份额。因为液环泵大多数是铸件，加工需求也不高，属劳动密集型商品，所以国产液环泵在报价上有竞赛优势，关键是要改进设计，减小体积，减轻分量，进步功率，下降能耗。

2.滑阀泵

因为滑阀泵对比经用、牢靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及枯燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，可是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻觅合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际商场，必须进一步下降泵的振荡噪声，根绝喷油和漏油，进步滑阀泵长时刻运转的牢靠性。

3.直联旋片泵

跟着真空技术在各个使用范畴的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。因为这种泵数量很多，加工安装工作量很大，报价又很低，所以有的国外真空厂商在中国树立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，报价又远比国外的泵便宜，所以国产泵依然有竞赛优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片资料和真空泵油的功能质量问题，确保直联泵在高速、高温下功能稳定和运转牢靠，一起还要进一步进步国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

4.罗茨泵

从国外罗茨泵出产状况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超越5%，这5家总计才20%，罗茨泵产值不大，但国外罗茨泵的报价远比国产泵要高得多。当前，国内外几乎一切大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时刻、进步出产功率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵必定要在占据国内商场根底上设法进入国际商场，这样就必须进一步下降国产罗茨泵的振荡噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，进步泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在进步转速的状况下长时刻运转的牢靠性。

当前，国内气冷式直排大气罗茨泵开展很快，技术上现已成熟。因为这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体经过管道回来泵腔以冷却转子，从而使紧缩热得平衡，所以这种泵能够直排大气。为了满意不一样极限真空度的需求，这种泵能够串联使用，通常前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所到达的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种真空泵因为在泵腔内没有工作介质，实际上也是归于干泵。当前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组现已在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模仿等设备上得到了长时刻运转的检测，所以应该在国内大力推广和使用。

5.分子泵

分子泵在国外半导体范畴里的很多技术场合是用来替代低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等设备都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

因为分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时刻比低温泵长。为了进步抽速，国外在分子泵的进口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，别的气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜设备上使用，既进步了出产功率又改进了膜层质量。跟着中国半导体工业、薄膜工业和科学研讨工作迅速开展，分子泵应该是中国真空泵制造业开展的要点。首要，分子泵要从小到大树立完好系列，并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满意不一样场合的需求。

6.干泵

国外干泵商场的不断增加，其主要驱动来自于半导体职业、化学工业、薄膜工业的迅速开展。在日本，半导体职业已悉数用干式真空泵替代油封式机械泵，欧美半导体职业45%以上用干式真空泵替代了油封式机械泵，大大进步了商品的功能和质量。为了满意不一样使用范畴和不一样工况的需求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，当前国产干泵的使用还缺乏1%，国内半导体工业用的干泵悉数从国外进口，其报价非常贵重。所以，中国应大力研讨开发干泵，使干泵变成中国真空工业新的经济增加点。

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